NanoMetroSmart
NANOMETROSMART高效测量系统是一款专为半导体产业和材料科学中关键尺寸量测需求而设计的软件,基于客户需求研发,能够帮助用户快速、准确地进行尺寸量测。本软件针对半导体产业客户需求开发了不同类型器件的量测模板,针对材料科学用户需求开发了简单的粒径尺寸量测统计功能,自动分析量测复杂数据,帮助用户更好地掌握关键尺寸参数,助力科学研究和研发制造过程。我们拥有丰富的客户端经验和案例,可以与用户分享,帮助用户更好地完成量测任务和数据分析任务。
产品特色
丰富的图像预处理功能
NANOMETROSMART高效测量系统内置了丰富的预处理和滤波模型,这些模型可以直接调用和修改,让用户能够更加灵活地进行图像处理,帮助得到更加准确的量测结果。
NANOMETROSMART内置丰富的图像处理模块
简洁的界面与流程编辑操作:
NANOMETROSMART半导体高效测量系统界面简洁、直观,操作简单,内置易于使用的流程编辑器,避免代码编写就能实现自动寻边,自动关键位置锁定,以及自动坐标位置补偿等复杂图像运算,从而可以高效地完成实验室日常繁复的图像量测任务。
丰富的图像量测工具
NANOMETROSMART半导体高效测量系统针对尺寸量测设计了全面丰富的量测工具和模块,这些工具和模块能够快速验证和调用,让用户能够更加方便和迅速地完成繁复的尺寸量测任务。
两直线夹角量测
测量材料切面夹角
高度测量
测量各个膜层之间的高度
两点间距离量测
测量材料特定距离
宽度量测
测量每个pin间宽度
轮廓位置
突出边缘轮廓
边缘位置
测量右侧交点延左延展线延申固定长度后与顶端的距离
图形位置
找出所有的相似特征
点到直线距离
测量硅结构的垂直高度(底部位置由两侧沟道的最底端中较高的那一侧来确定)和中间区域的填充物2高度
旋转
将图像旋转至水平并测量膜层间距和pin的长度
NanoMetro使用指南
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